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VacIon Plus 150 離子泵體積適中，可提供較高抽速，可用 6 英寸 Conflat 法蘭安裝，通常用于需要達(dá)到超高和很高真空條件的實(shí)驗(yàn)室。該離子泵具有三種抽氣單元類型。二極離子泵抽氣單元適用于通用的超高真空和很高真空應(yīng)用，在這些應(yīng)用中對(duì)氫氣的抽速至關(guān)重要，并且系統(tǒng)很少排氣或發(fā)生空氣泄漏。三極離子泵抽氣單元可處理大量惰性氣體（優(yōu)于惰性氣體二極離子泵）和氫氣，對(duì)甲烷、氬氣和氦氣具有最高的抽速和容量。惰性氣體二極離子泵抽氣單元適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用應(yīng)用。
特性
VacIon Plus 150 離子泵配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，以為不同氣體提供最佳抽速
配備 ConFlat 6 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 6 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側(cè)孔，可選不同方向的真空穿導(dǎo)件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）
無活動(dòng)部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動(dòng)運(yùn)行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場(chǎng)可很大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學(xué)擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性，可將電子干擾降至最低
在空間有限的情況下可提供緊湊設(shè)計(jì)的泵體
性能指標(biāo)
加熱器電壓 |
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加熱器電源 |
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單元類型 |
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工作壽命 |
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抽氣口法蘭 |
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最大啟動(dòng)壓力 |
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最高烘烤溫度 |
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極限真空 |
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真空高壓接頭類型 |
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重量（只有泵時(shí)） |
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工作原理
二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個(gè)帶正電的陽極環(huán)元件和一個(gè)帶負(fù)電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場(chǎng)中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應(yīng)。濺射和吸收效應(yīng)與二極離子泵的抽氣效應(yīng)同步。
三極離子泵元件技術(shù)
陰極無法捕獲惰性氣體（如氬氣），因此必須將它們傳輸?shù)疥枠O進(jìn)行泵送。這些原子有兩種傳輸方式：使用較重的陰極材料（鉭）或不同的幾何形狀（三極泵）。三極離子泵由安捷倫（原瓦里安）基于改進(jìn)的陰極幾何結(jié)構(gòu)發(fā)明。星形陰極增加了惰性氣體作為高能中性粒子傳輸?shù)母怕剩侁帢O可確保為 XHV 范圍內(nèi)的殘留氣體 H2 提供高抽速。
SEM 陽極設(shè)計(jì)
由于泵產(chǎn)生的離子流與真空度成正比，在許多應(yīng)用（如掃描電子顯微鏡 (SEM)）中，離子泵可用作真空計(jì)。由于泄漏電流會(huì)與離子流疊加，因此需要將其盡可能降低。為了降低泄漏電流，安捷倫申請(qǐng)了一項(xiàng)陽極設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)減少了空體積、尖銳邊緣和金屬“晶須"。這些預(yù)防措施有助于保持極低的泄漏電流，確保更好的壓力讀數(shù)。
